Радиочастотное напыление - это метод, используемый для создания тонких пленок, в частности в компьютерной и полупроводниковой промышленности. Она предполагает использование радиочастотных (РЧ) волн для подачи энергии на инертный газ, в результате чего образуются положительные ионы, которые ударяются о материал мишени. В результате целевой материал распадается на мелкие брызги, которые покрывают подложку, образуя тонкую пленку. ВЧ-напыление отличается от напыления постоянным током (DC) по напряжению, давлению в системе, схеме осаждения и типу используемого материала мишени.
Механизм радиочастотного напыления:
ВЧ-напыление работает за счет подачи энергии на радиочастотах, обычно 13,56 МГц, вместе с согласующей сетью. Этот метод позволяет чередовать электрические потенциалы, что помогает "очищать" поверхность материала мишени от накопленных зарядов с каждым циклом. Во время положительного цикла электроны притягиваются к мишени, придавая ей отрицательное смещение. В отрицательном цикле продолжается ионная бомбардировка мишени, что облегчает процесс напыления.Преимущества радиочастотного напыления:
Одним из значительных преимуществ радиочастотного напыления является его способность уменьшать накопление заряда в определенных местах на поверхности материала мишени. Такое снижение помогает минимизировать "эрозию гоночного трека" - явление, при котором материал мишени стирается неравномерно из-за локального накопления заряда.
Применение для изоляционных материалов:
ВЧ-напыление особенно эффективно для осаждения тонких пленок изоляционных или непроводящих материалов. В отличие от напыления постоянным током, для которого требуются проводящие мишени, радиочастотное напыление может работать с непроводящими материалами, эффективно управляя накоплением заряда благодаря переменному электрическому потенциалу.
ВЧ-магнетронное распыление:
