Импульсное напыление постоянным током обычно считается лучше, чем напыление постоянным током для некоторых применений, особенно в реактивном напылении и при работе с изоляторами. Это связано с его способностью смягчать повреждения от дугового разряда и улучшенным контролем над свойствами пленки.
Смягчение повреждений от дугового разряда:
Импульсное напыление постоянным током особенно выгодно при реактивном ионном напылении, где высок риск возникновения дугового разряда. Дуговой разряд возникает из-за накопления заряда на мишени, что может быть губительно как для тонкой пленки, так и для источника питания. Импульсное напыление постоянным током помогает справиться с этой проблемой, периодически разряжая накопленный заряд, тем самым предотвращая его накопление, которое приводит к дуговым разрядам. Это делает процесс более стабильным и менее вредным для оборудования и осажденных пленок.Усиленный контроль над свойствами пленки:
Импульсное напыление постоянным током позволяет лучше контролировать различные свойства пленки, такие как толщина, однородность, прочность сцепления, напряжение, зернистая структура, оптические и электрические свойства. Это очень важно в тех случаях, когда необходим точный контроль над характеристиками пленки. Импульсный характер питания обеспечивает более контролируемую среду для осаждения материалов, что приводит к получению пленок более высокого качества.
Преимущества при осаждении изоляционных материалов:
Традиционное напыление постоянным током имеет ограничения при осаждении изоляционных материалов из-за накопления заряда на мишени. Импульсное напыление постоянным током, наряду с такими достижениями, как импульсное магнетронное напыление высокой мощности (HiPIMS), преодолевает эти ограничения, предоставляя метод эффективного осаждения изоляционных материалов. Это особенно важно при разработке современных материалов и покрытий, где изоляционные свойства имеют большое значение.
