Напыление для РЭМ обычно включает в себя нанесение ультратонкого электропроводящего металлического слоя толщиной 2-20 нм. Такое покрытие крайне важно для непроводящих или плохо проводящих образцов, чтобы предотвратить зарядку и повысить соотношение сигнал/шум при визуализации в РЭМ.
Подробное объяснение:
-
Цель нанесения покрытия методом напыления:
-
Напыление используется в основном для нанесения тонкого слоя проводящего металла на непроводящие или плохо проводящие образцы. Этот слой помогает предотвратить накопление статических электрических полей, которые могут помешать процессу визуализации в РЭМ. При этом он также усиливает эмиссию вторичных электронов с поверхности образца, тем самым улучшая соотношение сигнал/шум и общее качество РЭМ-изображений.Типичная толщина:
-
Толщина напыленных пленок обычно составляет от 2 до 20 нм. Этот диапазон выбран для того, чтобы покрытие было достаточно тонким, чтобы не затенять мелкие детали образца, но достаточно толстым, чтобы обеспечить эффективную электропроводность и предотвратить зарядку. Для РЭМ с малым увеличением обычно достаточно покрытий толщиной 10-20 нм, которые не оказывают существенного влияния на получение изображений. Однако для РЭМ с большим увеличением, особенно с разрешением менее 5 нм, предпочтительны более тонкие покрытия (до 1 нм), чтобы не заслонять детали образца.
-
Использованные материалы:
Для нанесения покрытий напылением обычно используются такие металлы, как золото (Au), золото/палладий (Au/Pd), платина (Pt), серебро (Ag), хром (Cr) и иридий (Ir). Эти материалы выбираются за их проводимость и способность улучшать условия визуализации в РЭМ. В некоторых случаях предпочтительнее использовать углеродное покрытие, особенно для таких применений, как рентгеновская спектроскопия и дифракция обратного рассеяния электронов (EBSD), где крайне важно избежать смешивания информации от покрытия и образца.
Преимущества нанесения покрытия методом напыления:
