Напыление постоянным током не используется для изоляторов, прежде всего из-за присущих изоляторам электрических свойств, которые приводят к накоплению заряда, что нарушает процесс напыления и может вызвать значительные эксплуатационные проблемы.
Накопление заряда на изолирующих мишенях:
Изоляционные материалы, по определению, плохо проводят электричество. При напылении постоянным током постоянный ток подается на материал мишени, чтобы вывести частицы в процессе, называемом напылением. Однако если мишень является изолятором, постоянный ток не может пройти через материал, что приводит к накоплению заряда на мишени. Это накопление заряда может препятствовать созданию стабильного газового разряда, который необходим для процесса напыления. Без стабильного разряда процесс напыления становится неэффективным и может даже полностью прекратиться.Накопление заряда на изолирующих подложках:
Аналогично, если подложка является изолятором, она может накапливать электроны в процессе осаждения. Это накопление может привести к возникновению дуги - разрушительного электрического разряда, который может повредить как подложку, так и осажденную пленку. Эти дуги являются результатом высокого напряжения, необходимого для преодоления изоляционных свойств подложки, что, в свою очередь, создает локализованные области высокого электрического напряжения.
Проблемы реактивного напыления постоянным током:
Даже при использовании реактивного напыления постоянным током, когда металлическая мишень используется в сочетании с реактивным газом для формирования изолирующего покрытия, проблемы сохраняются. По мере роста изоляционной пленки на подложке она может заряжаться, что приводит к тем же проблемам с дугой. Кроме того, анод может покрыться и постепенно превратиться в изолятор - явление, известное как эффект исчезающего анода, которое усугубляет проблемы, еще больше усложняя электрическую среду, необходимую для напыления.
Альтернатива: радиочастотное напыление:
