Выход напыления, также известный как физическая скорость напыления, - это мера количества атомов, потерянных с поверхности на каждую падающую энергичную частицу, ударяющуюся о поверхность.
Это важный фактор в процессах напыления, поскольку он влияет на скорость напыления.
Выход напыления в основном зависит от трех основных факторов: материала мишени, массы бомбардирующих частиц и энергии бомбардирующих частиц.
В диапазоне энергий, при которых происходит напыление (от 10 до 5000 эВ), выход напыления увеличивается с ростом массы и энергии частиц.
На выход распыления влияют различные факторы, включая угол, под которым ионы ударяются о поверхность, количество энергии ионов при столкновении, массу ионов, массу атомов материала мишени, энергию связи между атомами материала мишени, напряженность магнитного поля и конструктивные факторы (в магнетронных катодах), а также давление плазменного газа.
Для того чтобы вырвать атом из материала мишени, ионы должны иметь минимальную энергию, обычно 30-50 эВ, которая зависит от материала.
При превышении этого порога выход напыления увеличивается.
Однако при высоких энергиях ионов увеличение выхода быстро сглаживается, поскольку энергия осаждается глубже в мишени и едва достигает поверхности.
Отношение масс иона и атома мишени определяет возможный перенос импульса.
Для легких атомов мишени максимальный выход достигается, когда массы мишени и иона примерно совпадают.
Однако с увеличением массы атомов мишени максимальный выход смещается в сторону более высоких соотношений масс иона и атома мишени.
Выход распыления имеет такие преимущества в процессах осаждения распылением, как высокая скорость осаждения и возможность осаждения широкого спектра материалов.
Однако у него есть и недостатки, включая высокие капитальные затраты, относительно низкие скорости осаждения для некоторых материалов, разрушение органических твердых веществ под действием ионной бомбардировки и большую склонность к внесению примесей в подложку по сравнению с осаждением испарением.
В целом, выход напыления является важным параметром, который необходимо учитывать в процессах осаждения напылением, поскольку он определяет эффективность и результативность процесса осаждения.
Повысьте эффективность процессов напыления с помощью KINTEK!
Максимизируйте выход напыления и увеличьте скорость осаждения с помощью передового лабораторного оборудования KINTEK.
Наша передовая технология учитывает такие важные факторы, как материал мишени, масса и энергия бомбардирующих частиц, угол падения, энергия связи между атомами, напряженность магнитного поля и давление плазменного газа.
С KINTEK вы можете рассчитывать на распыление атомов с энергией, превышающей десятки электронвольт, что гарантирует оптимальные результаты для ваших процессов напыления.
Кроме того, наше оборудование минимизирует повторное напыление, обеспечивая более эффективные и экономичные операции.
Не довольствуйтесь средними результатами напыления. Свяжитесь с KINTEK сегодня и совершите революцию в процессах напыления для достижения непревзойденного успеха!
Продолжайте исследовать, проконсультируйтесь с нашими специалистами
Готовы ли вы повысить производительность напыления? Свяжитесь с KINTEK сегодня, чтобы узнать больше о нашем передовом лабораторном оборудовании и о том, как мы можем помочь вам достичь оптимальных результатов напыления.
Не упустите возможность революционизировать ваши процессы! Посетите наш сайт или позвоните нам прямо сейчас, чтобы начать работу.
