Выход напыления, также известный как физическая скорость напыления, является мерой количества атомов, теряемых с поверхности на каждую падающую энергичную частицу, ударяющуюся о поверхность. Он является важным фактором в процессах напыления, поскольку влияет на скорость напыления.
Выход распыления в основном зависит от трех основных факторов: материала мишени, массы бомбардирующих частиц и энергии бомбардирующих частиц. В диапазоне энергий, при которых происходит напыление (от 10 до 5000 эВ), выход напыления увеличивается с ростом массы и энергии частиц.
На выход распыления влияют различные факторы, в том числе угол падения ионов на поверхность, энергия ионов при столкновении, масса ионов, масса атомов материала мишени, энергия связи между атомами материала мишени, напряженность магнитного поля и конструктивные особенности (в магнетронных катодах), давление плазменного газа.
Для того чтобы вырвать атом из материала мишени, ионы должны обладать минимальной энергией, обычно 30-50 эВ, которая зависит от материала. При превышении этого порога выход напыления увеличивается. Однако при высоких энергиях ионов увеличение выхода быстро сглаживается, поскольку энергия осаждается в глубине мишени и практически не достигает поверхности.
Отношение масс иона и атома мишени определяет возможный перенос импульса. Для легких атомов мишени максимальный выход достигается, когда массы мишени и иона примерно совпадают. Однако с увеличением массы атомов мишени максимальный выход смещается в сторону более высоких соотношений масс иона и атома мишени.
Выход распыления имеет такие преимущества в процессах напыления, как высокая скорость осаждения и возможность осаждения широкого спектра материалов. Однако ему присущи и недостатки, среди которых высокие капитальные затраты, относительно низкие скорости осаждения некоторых материалов, деструкция органических твердых веществ под действием ионной бомбардировки, а также большая склонность к внесению примесей в подложку по сравнению с осаждением испарением.
В целом выход напыления является важным параметром, который необходимо учитывать в процессах напыления, поскольку он определяет эффективность и результативность процесса осаждения.
Повысьте производительность процессов напыления с помощью KINTEK!
Максимизируйте выход напыления и повысьте скорость осаждения с помощью современного лабораторного оборудования KINTEK. Наша передовая технология учитывает такие важные факторы, как материал мишени, масса и энергия бомбардирующих частиц, угол падения, энергия связи между атомами, напряженность магнитного поля и давление плазмообразующего газа.
С KINTEK вы можете рассчитывать на распыление атомов с энергией, превышающей десятки электронвольт, что гарантирует оптимальные результаты для процессов напыления. Кроме того, наше оборудование сводит к минимуму повторное напыление, обеспечивая более эффективную и экономичную работу.
Не довольствуйтесь средними результатами напыления. Свяжитесь с компанией KINTEK и произведите революцию в процессах напыления для достижения непревзойденного успеха!
