При радиочастотном напылении обычно используется частота в диапазоне 5-30 МГц.
Однако наиболее распространенной является частота 13,56 МГц.
Эта частота выбрана потому, что в соответствии с Регламентом радиосвязи МСЭ она выделена для промышленных, научных и медицинских приборов (ISM).
Такое распределение гарантирует, что она не будет мешать телекоммуникационным службам.
Кроме того, частота 13,56 МГц достаточно низкая, чтобы обеспечить достаточное время для передачи импульса ионов аргона к мишени.
Это очень важно для процесса напыления.
Почему именно 13,56 МГц? 4 стратегические причины
1. Распределение диапазона ISM
Международный союз электросвязи (МСЭ) определил 13,56 МГц как часть ISM-диапазона.
Это специально для промышленных, научных и медицинских приложений.
Это обозначение помогает предотвратить помехи для других радиочастотных коммуникаций.
Это гарантирует, что процесс напыления может работать, не нарушая и не подвергаясь помехам со стороны других радиочастотных технологий.
2. Эффективность переноса импульса
На этой частоте временная шкала благоприятствует эффективной передаче импульса от ионов аргона к материалу мишени.
Это очень важно, поскольку при более высокой частоте ионам не хватило бы времени для эффективной передачи импульса.
Это может привести к менее эффективному напылению.
3. Динамика электронов
Частота 13,56 МГц также сбалансирована с точки зрения динамики электронов.
На более высоких частотах электроны становятся более доминирующими в процессе напыления.
Это может изменить характеристики осаждения, сделав его более похожим на испарение электронным пучком.
При использовании частоты 13,56 МГц в процессе поддерживается баланс, при котором ионы и электроны играют значительную роль.
Однако ионы не иммобилизованы, что обеспечивает эффективное напыление.
4. Соответствие нормативным требованиям и практические соображения
В целом, частота 13,56 МГц в радиочастотном напылении обусловлена как нормативными требованиями, так и практическими соображениями.
Эти соображения связаны с физикой взаимодействия ионов и электронов в процессе напыления.
Эта частота обеспечивает эффективную и свободную от помех работу системы напыления.
Это делает ее идеальной для осаждения тонких пленок, особенно для непроводящих материалов.
Продолжайте исследовать, обратитесь к нашим экспертам
Готовы ли вы повысить точность и надежность процессов осаждения тонких пленок с помощью радиочастотного напыления на частоте 13,56 МГц?
В компании KINTEK мы понимаем критическую роль частоты в достижении оптимальной передачи импульса и соблюдении нормативных требований.
Наши передовые системы напыления разработаны для использования преимуществ этой стратегической частоты.
Они обеспечивают высококачественное осаждение тонких пленок без помех.
Оцените разницу с KINTEK и расширьте свои исследовательские или производственные возможности уже сегодня.
Свяжитесь с нами, чтобы узнать больше о наших передовых решениях и о том, как мы можем удовлетворить ваши конкретные потребности.
