Напыление - это действительно процесс осаждения, в частности, разновидность физического осаждения из паровой фазы (PVD). Этот метод предполагает выброс материала из источника "мишени", который затем осаждается на "подложку". Процесс характеризуется физическим выбросом поверхностных атомов из мишени за счет передачи импульса от энергичной бомбардирующей частицы, обычно газообразных ионов из плазмы или ионной пушки.
Подробное объяснение:
-
Механизм напыления:
-
Напыление работает за счет использования газообразной плазмы для вытеснения атомов с поверхности твердого материала мишени. Мишенью обычно является плита материала, предназначенного для нанесения покрытия на подложку. Процесс начинается с подачи контролируемого газа, обычно аргона, в вакуумную камеру. Затем электрическая энергия подается на катод, создавая самоподдерживающуюся плазму. Ионы из плазмы сталкиваются с мишенью, в результате чего атомы выбрасываются за счет передачи импульса.Осаждение на подложки:
-
Выброшенные атомы из мишени проходят через вакуум или газовую среду низкого давления и осаждаются на подложку. Осаждение может происходить при различных условиях давления: в вакууме или газе низкого давления (<5 мТорр) напыленные частицы не подвергаются газофазным столкновениям до достижения подложки. При более высоком давлении газа (5-15 мТорр) энергичные частицы могут быть термически обработаны газофазными столкновениями перед осаждением.
-
Характеристики напыленных пленок:
Напыленные пленки известны своей превосходной однородностью, плотностью, чистотой и адгезией. Этот метод позволяет получать сплавы с точным составом с помощью обычного напыления или создавать такие соединения, как оксиды и нитриды, с помощью реактивного напыления. Кинетическая энергия атомов, выбрасываемых при напылении, обычно выше, чем у испаряемых материалов, что повышает их адгезию к подложке.
Преимущества напыления:
