Напыление золота обычно приводит к образованию пленки толщиной 2-20 нм. Этот диапазон особенно актуален для применения в сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), где покрытие служит для предотвращения зарядки образца и повышения соотношения сигнал/шум за счет увеличения эмиссии вторичных электронов.
Подробное объяснение:
-
Назначение напыления золота в РЭМ:
-
В РЭМ непроводящие или плохо проводящие образцы могут накапливать статические электрические поля, которые мешают получению изображений. Чтобы смягчить эту проблему, тонкий слой проводящего материала, например золота, наносится методом напыления. Этот процесс подразумевает нанесение металла на поверхность путем бомбардировки энергичными частицами, обычно в условиях высокого вакуума. Нанесенный слой металла помогает отвести электрический заряд от образца, предотвращая искажения на СЭМ-изображениях.Толщина напыления золота:
-
- Согласно приведенной ссылке, толщина напыленных пленок для применения в РЭМ обычно составляет от 2 до 20 нм. Этот диапазон выбран для того, чтобы сбалансировать потребность в проводимости с требованием не затушевывать детали поверхности образца. Более толстые покрытия могут создавать артефакты или изменять свойства поверхности образца, в то время как более тонкие покрытия могут не обеспечивать достаточной проводимости.Конкретные примеры и техники:
- Золото/палладиевое покрытие: Приведенный пример описывает 6-дюймовую пластину, покрытую 3 нм золота/палладия с использованием специальных настроек (800 В, 12 мА, газ аргон и вакуум 0,004 бар). Этот пример демонстрирует точность, достижимую при напылении, при этом покрытие получается равномерным по всей пластине.
-
Расчет толщины покрытия: Еще один упомянутый метод использует интерферометрические методы для расчета толщины покрытий Au/Pd при напряжении 2,5 кВ. Приведенная формула (Th = 7,5 I t) позволяет оценить толщину покрытия (в ангстремах) на основе тока (I в мА) и времени (t в минутах). Этот метод позволяет предположить, что типичное время нанесения покрытия может составлять от 2 до 3 минут при токе 20 мА.
Ограничения и пригодность напыления золота:
