Знание Что такое процесс напыления мишени? 7 шагов к осаждению тонких пленок
Аватар автора

Техническая команда · Kintek Solution

Обновлено 2 месяца назад

Что такое процесс напыления мишени? 7 шагов к осаждению тонких пленок

Процесс напыления мишени включает в себя осаждение тонких пленок на подложку с помощью метода физического осаждения из паровой фазы (PVD).

  1. Знакомство с вакуумной камерой: Подложка для нанесения покрытия помещается в вакуумную камеру.

  2. Эта камера содержит два магнита и первоначально откачивается, чтобы создать вакуумную среду.

  3. Базовое давление в камере чрезвычайно низкое, обычно около 10^-6 миллибар, что составляет миллиардную часть от нормального атмосферного давления.

  4. Введение инертного газа: В вакуумную камеру вводится контролируемый газ, обычно аргон, который является химически инертным.

  5. Атомы газа поступают непрерывно, создавая атмосферу низкого давления, подходящую для процесса напыления.

  6. Генерация плазмы: Электрический ток подается на катод внутри камеры.

  7. Этот катод, также известный как мишень, изготовлен из материала, который будет нанесен на подложку.

  8. Под действием электричества газ аргон ионизируется, превращаясь в плазму.

  9. В этом состоянии атомы газа становятся положительно заряженными ионами, теряя электроны.

  10. Напыление материала мишени: Атомы ионизированного газа ускоряются магнитным полем по направлению к мишени.

  11. Когда они попадают на мишень, они смещают атомы или молекулы из материала мишени.

  12. Этот процесс известен как напыление. Распыленный материал образует поток пара.

  13. Осаждение на подложку: Испаренный материал из мишени проходит через камеру и оседает на подложке, образуя тонкую пленку или покрытие.

  14. Эта пленка обычно однородна и хорошо прилипает к подложке.

  15. Охлаждение и контроль: Во время процесса мишень охлаждается водой для отвода выделяющегося тепла.

  16. Это очень важно для сохранения целостности материала мишени и предотвращения повреждения оборудования.

  17. Контроль качества и анализ: После процесса напыления качество осажденной пленки анализируется.

  18. Каждая производственная партия материала проходит различные аналитические процессы, чтобы убедиться, что она соответствует требуемым стандартам.

  19. С каждой партией поставляется сертификат анализа, подтверждающий качество напыляемых мишеней.

Этот процесс крайне важен в различных отраслях промышленности, особенно в производстве полупроводников, где он используется для формирования проводящих слоев.

Мишени для напыления должны обеспечивать высокую химическую чистоту и металлургическую однородность, чтобы соответствовать строгим требованиям этих приложений.

Продолжайте изучать, обратитесь к нашим экспертам

Что такое процесс напыления мишени? 7 шагов к осаждению тонких пленок

Откройте для себя точность с помощью мишеней для напыления KINTEK!

Поднимите свои тонкопленочные приложения на новый уровень с помощью высокочистых мишеней для напыления от KINTEK. Наши передовые технологии PVD гарантируют, что каждая мишень обеспечивает непревзойденную однородность и адгезию, что идеально подходит для критически важного производства полупроводников и электроники. Оцените разницу в качестве и производительности KINTEK. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о нашей продукции и о том, как она может улучшить ваши производственные процессы. Ваш путь к превосходным тонкопленочным покрытиям начинается с KINTEK!

Связанные товары

Мишень для распыления карбида бора (BC) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления карбида бора (BC) / порошок / проволока / блок / гранула

Получите высококачественные материалы из карбида бора по разумным ценам для нужд вашей лаборатории. Мы изготавливаем материалы BC различной чистоты, формы и размера, включая мишени для распыления, покрытия, порошки и многое другое.

Мишень для распыления свинца высокой чистоты (Pb) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления свинца высокой чистоты (Pb) / порошок / проволока / блок / гранула

Ищете высококачественные материалы из свинца (Pb) для нужд вашей лаборатории? Не ищите ничего, кроме нашего специализированного набора настраиваемых опций, включая мишени для распыления, материалы покрытия и многое другое. Свяжитесь с нами сегодня для конкурентоспособных цен!

Мишень для распыления из вольфрамо-титанового сплава (WTi) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления из вольфрамо-титанового сплава (WTi) / порошок / проволока / блок / гранула

Откройте для себя наши материалы из вольфрамо-титанового сплава (WTi) для лабораторного использования по доступным ценам. Наш опыт позволяет нам производить нестандартные материалы различной чистоты, формы и размера. Выбирайте из широкого спектра мишеней для распыления, порошков и многого другого.

Мишень для распыления из медно-циркониевого сплава (CuZr) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления из медно-циркониевого сплава (CuZr) / порошок / проволока / блок / гранула

Откройте для себя наш ассортимент материалов из медно-циркониевого сплава по доступным ценам с учетом ваших уникальных требований. Просмотрите наш выбор мишеней для распыления, покрытий, порошков и многого другого.

Мишень для распыления сульфида цинка (ZnS) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления сульфида цинка (ZnS) / порошок / проволока / блок / гранула

Получите доступные по цене материалы на основе сульфида цинка (ZnS) для нужд вашей лаборатории. Мы производим и настраиваем материалы ZnS различной чистоты, формы и размера. Выбирайте из широкого спектра мишеней для распыления, материалов для покрытий, порошков и многого другого.

Цель/порошок/проволока/блок/гранулы для распыления алюминия высокой чистоты (Al)

Цель/порошок/проволока/блок/гранулы для распыления алюминия высокой чистоты (Al)

Получите высококачественные алюминиевые (Al) материалы для лабораторного использования по доступным ценам. Мы предлагаем индивидуальные решения, включая мишени для распыления, порошки, фольгу, слитки и многое другое, чтобы удовлетворить ваши уникальные потребности. Заказать сейчас!

Мишень для распыления кобальта (Co) высокой чистоты / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления кобальта (Co) высокой чистоты / порошок / проволока / блок / гранула

Получите доступные по цене материалы на основе кобальта (Co) для лабораторного использования, адаптированные к вашим уникальным потребностям. Наш ассортимент включает мишени для распыления, порошки, фольгу и многое другое. Свяжитесь с нами сегодня для индивидуальных решений!

Мишень для распыления теллурида кобальта (CoTe) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления теллурида кобальта (CoTe) / порошок / проволока / блок / гранула

Приобретайте высококачественные материалы на основе теллурида кобальта для нужд вашей лаборатории по разумным ценам. Мы предлагаем индивидуальные формы, размеры и чистоту, включая мишени для распыления, покрытия, порошки и многое другое.

Мишень для распыления сульфида олова (SnS2) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления сульфида олова (SnS2) / порошок / проволока / блок / гранула

Найдите высококачественные материалы на основе сульфида олова (SnS2) для своей лаборатории по доступным ценам. Наши специалисты производят и изготавливают материалы в соответствии с вашими конкретными потребностями. Ознакомьтесь с нашим ассортиментом мишеней для распыления, материалов для покрытий, порошков и многого другого.

Мишень для распыления иридия (Ir) высокой чистоты / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления иридия (Ir) высокой чистоты / порошок / проволока / блок / гранула

Ищете высококачественные иридиевые (Ir) материалы для лабораторного использования? Не смотрите дальше! Наши искусно изготовленные и адаптированные материалы бывают различной чистоты, формы и размера, чтобы удовлетворить ваши уникальные потребности. Ознакомьтесь с нашим ассортиментом мишеней для распыления, покрытий, порошков и многого другого. Получите цитату сегодня!

Цель/порошок/проволока/блок/гранулы для распыления германия высокой чистоты (Ge)

Цель/порошок/проволока/блок/гранулы для распыления германия высокой чистоты (Ge)

Приобретайте высококачественные золотые материалы для нужд вашей лаборатории по доступным ценам. Наши изготовленные на заказ золотые материалы бывают различных форм, размеров и чистоты, чтобы соответствовать вашим уникальным требованиям. Ознакомьтесь с нашим ассортиментом мишеней для распыления, материалов для покрытий, фольги, порошков и многого другого.

Мишень для распыления олова высокой чистоты (Sn) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления олова высокой чистоты (Sn) / порошок / проволока / блок / гранула

Ищете высококачественные материалы на основе олова (Sn) для лабораторного использования? Наши специалисты предлагают индивидуальные оловянные (Sn) материалы по разумным ценам. Ознакомьтесь с нашим ассортиментом спецификаций и размеров уже сегодня!

Цель/порошок/проволока/блок/гранулы для распыления циркония высокой чистоты (Zr)

Цель/порошок/проволока/блок/гранулы для распыления циркония высокой чистоты (Zr)

Ищете высококачественные циркониевые материалы для своей лаборатории? Наш ассортимент доступных по цене продуктов включает мишени для распыления, покрытия, порошки и многое другое, адаптированное к вашим уникальным требованиям. Свяжитесь с нами сегодня!

Мишень для распыления карбида титана (TiC) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления карбида титана (TiC) / порошок / проволока / блок / гранула

Получите высококачественные материалы из карбида титана (TiC) для своей лаборатории по доступным ценам. Мы предлагаем широкий спектр форм и размеров, включая мишени для распыления, порошки и многое другое. С учетом ваших конкретных потребностей.


Оставьте ваше сообщение