Отравление мишени при напылении означает образование изолирующего оксидного слоя на поверхности мишени вне области металлической дорожки. Это происходит, когда материал мишени, особенно если он реактивный, взаимодействует с напыляемой средой и образует непроводящий слой.
Резюме ответа:
Отравление мишени - это образование изолирующего оксидного слоя на поверхности мишени, что может привести к возникновению дуги и нарушению процесса напыления. Это условие требует использования импульсных методов для предотвращения возникновения дуги на диэлектрической поверхности отравленной мишени.
-
Подробное объяснение:Формирование изолирующего оксидного слоя:
-
В процессе напыления материал мишени бомбардируется ионами, в результате чего атомы выбрасываются и осаждаются на подложке в виде тонкой пленки. Если материал мишени реакционноспособен, он может вступить в реакцию с окружающей средой напыления, обычно кислородом или другими реакционноспособными газами, присутствующими в камере, что приводит к образованию оксидного слоя. Этот слой является непроводящим и образуется за пределами металлической дорожки на поверхности мишени.
-
Влияние на процесс напыления:
-
Наличие этого изолирующего оксидного слоя может существенно повлиять на процесс напыления. Он может вызвать дугу, которая представляет собой внезапное высвобождение электрической энергии из-за высокого напряжения, приложенного к мишени и подложке. Дуга может повредить мишень, подложку и покрытие, что приведет к дефектам и низкому качеству пленки.Предотвращение и устранение последствий:
Для предотвращения или смягчения последствий отравления мишени часто используются импульсные методы. Импульсный режим подразумевает модуляцию подачи питания на процесс напыления, что помогает разрушить изолирующий слой и предотвратить накопление заряда, приводящее к возникновению дуги. Кроме того, поддержание чистой и контролируемой среды напыления может снизить вероятность отравления мишени.
Эффект исчезающего анода:
