Напыление при подготовке образцов для РЭМ подразумевает нанесение сверхтонкого слоя электропроводящего металла на непроводящие или плохо проводящие образцы. Этот процесс крайне важен для предотвращения заряда и повышения качества изображений РЭМ за счет увеличения отношения сигнал/шум благодаря улучшенной эмиссии вторичных электронов. Типичная толщина напыленного металлического слоя составляет от 2 до 20 нм, и обычно используются такие металлы, как золото, золото/палладий, платина, серебро, хром и иридий.
Подробное объяснение:
-
Назначение напыления:
-
Напыление в основном используется для подготовки непроводящих или плохо проводящих образцов для сканирующей электронной микроскопии (СЭМ). Без проводящего покрытия такие образцы могут накапливать статические электрические поля, что приводит к искажению изображения или повреждению образца в результате взаимодействия с электронным пучком.Механизм нанесения покрытия методом напыления:
-
- Процесс включает в себя технику напыления, при которой металлическая мишень бомбардируется энергичными частицами (обычно ионами), в результате чего атомы из мишени выбрасываются и осаждаются на образце. В результате образуется тонкий равномерный слой металла, который обеспечивает электропроводность образца.Преимущества нанесения покрытия методом напыления:
- Предотвращение заряда: Обеспечивая проводящий путь, напыление предотвращает накопление заряда на образце, который в противном случае отклонил бы электронный луч и ухудшил качество изображения.
- Усиление эмиссии вторичных электронов: Проводящие металлы, такие как золото и платина, хорошо испускают вторичные электроны при попадании на них электронного луча. Это повышает уровень сигнала, улучшая разрешение и контрастность изображений SEM.
-
Уменьшение теплового повреждения: Проводящее покрытие также помогает рассеивать тепло, выделяемое электронным пучком, снижая риск теплового повреждения чувствительных образцов.
-
Типы используемых металлов:
Для напыления могут использоваться различные металлы, каждый из которых обладает своими преимуществами в зависимости от конкретных требований к SEM-анализу. Например, золото/палладий часто используется благодаря своей отличной проводимости и устойчивости к окислению, а платина обеспечивает прочное покрытие, подходящее для получения изображений высокого разрешения.
Ограничения и альтернативы:
