В качестве газа для напыления обычно используется аргон, благодаря его инертности, высокой скорости напыления, низкой цене и доступности в чистом виде. Другие инертные газы, такие как криптон и ксенон, также используются, особенно для напыления тяжелых элементов, поскольку их атомный вес ближе к атомному весу этих элементов, что способствует эффективной передаче импульса. Реактивные газы, такие как кислород и азот, также могут использоваться в реактивном напылении для образования соединений на поверхности мишени, в полете или на подложке.
Аргон как основной газ для напыления:
Аргон предпочтителен в процессах напыления прежде всего потому, что это инертный газ, то есть он не вступает в реакцию с другими элементами. Эта характеристика очень важна для сохранения целостности материала мишени и осажденной пленки. Кроме того, аргон обладает высокой скоростью распыления, что повышает эффективность процесса осаждения. Низкая стоимость и широкая доступность делают его экономичным выбором для промышленных и лабораторных применений.Использование других инертных газов:
Хотя аргон является наиболее распространенным, иногда используются и другие редкие газы, такие как криптон (Kr) и ксенон (Xe), особенно при напылении тяжелых элементов. Эти газы имеют атомный вес, близкий к атомному весу более тяжелых материалов мишени, что повышает эффективность передачи импульса в процессе напыления. Это особенно важно для получения высококачественных тонких пленок с желаемыми свойствами.
Реактивное напыление с использованием таких газов, как кислород и азот:
При реактивном напылении неинертные газы, такие как кислород или азот, используются в сочетании с элементарными материалами мишени. Эти газы вступают в химическую реакцию с распыленными атомами, что приводит к образованию новых соединений, которые служат материалом покрытия. Этот метод особенно полезен для осаждения оксидных или нитридных пленок, которые необходимы в различных технологических приложениях, включая электронику и оптику.
Конфигурация и оптимизация систем напыления:
