Свойства жидкостей, используемых в диффузионных насосах, в частности полифенилового эфира и перфторполиэфира, характеризуются низким давлением паров, устойчивостью к разложению и химической инертностью. Полифениловый эфир отличается низким давлением паров и устойчивостью к электронной бомбардировке, что делает его пригодным для использования в высоковакуумных системах. Перфторполиэфир, с другой стороны, очень инертен к кислороду, галогенам и кислотам и разлагается на газ без ущерба для основной жидкости, хотя при разложении он токсичен.
Полифениловый эфир:
Полифениловый эфир выбирают за его очень низкое давление паров, что очень важно для поддержания высокого вакуума в диффузионных насосах. Его устойчивость к электронной бомбардировке особенно важна в условиях, когда насос может подвергаться воздействию высокоэнергетических частиц, например, в электронно-лучевой микроскопии или в процессах вакуумного напыления. Несмотря на более высокую стоимость по сравнению с силиконовым маслом, его эксплуатационные характеристики делают его предпочтительным выбором для конкретных применений, где требуется высокий вакуум и стабильность при электронной бомбардировке.Перфторполиэфир:
Перфторполиэфир - это тип жидкости, в которой все атомы водорода в углеводороде заменены на атомы фтора, что приводит к увеличению молекулярного веса и повышению химической стабильности. Эта жидкость инертна ко многим агрессивным химическим веществам, включая кислород, галогены и кислоты, что делает ее идеальной для использования в средах, где могут присутствовать такие вещества. Его разложение на газ при разрушении гарантирует, что основная жидкость останется неповрежденной, хотя образующийся газ токсичен и требует осторожного обращения и локализации.
Общие соображения для диффузионных насосов:
При выборе жидкости для диффузионных насосов необходимо учитывать качество масла, чтобы обеспечить оптимальную производительность и минимальное техническое обслуживание. Высококачественные масла помогают достичь требуемого уровня вакуума (от 10-2 до 10-10 торр) и очень важны для таких применений, как электронно-лучевая микроскопия, вакуумное напыление и вакуумные печи. Простота работы и отсутствие движущихся частей в диффузионных насосах делают их долговечными и надежными, требуя обслуживания, направленного в основном на поддержание необходимого уровня масла и обеспечение работоспособности нагревателей.
Химическая совместимость и техническое обслуживание:
